儀器介紹:
一個非標XPS / UPS / AES能譜分析系統(tǒng)可根據(jù)用戶的實驗需求，采用不同能量的激發(fā)源，以獲得樣品表面不同深度的各類信息，如元素種類和含量，化學環(huán)境和價態(tài)研究領域：
1、微電子領域：由于表面或界面的性質(zhì)對元器件的性能有非常大的影響，因此需要對材料及工藝過程進行質(zhì)量控制及分析，注入和擴散分析。
2、催化領域：材料表面化學反應和活性，催化劑中毒機理研究。
3、凝聚態(tài)物理：鍵結(jié)構(gòu)，表面電子態(tài)，晶體能帶結(jié)構(gòu)，吸附，脫附，遷移，擴散。
4、薄膜領域：超導膜，太陽能電池膜、層間擴散，離子注入。
